有投资者向聚光科技(300203.SZ)提问,谱育科技7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS/MS)已经开始批量交付了吗?产品和国外比有没有差距?还是比国外更先进
7月13日,公司回答表示,谱育科技于今年3月发布的新产品7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS/MS)在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等方面实现大幅提升,针对典型半导体领域样品(湿化学品,晶圆杂质金属,硅烷,电子特气等)的检出能力稳定在sub -ppt水平,在覆盖半导体全场景超痕量检测需求的同时,显著提升的灵敏度水平将有力支持半导体量测端的数据质量管理,为主流&先进制程提供更严格的工艺规格与材料认证。